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FOUP, 12inch Process Carrier, 25 slots / 12인치 웨이퍼 프로세스 케리어

주요특징

■ SEMI / FIMS Compliant
■ Front Opening Unified Pod (FOUP)
■ 반도체 생산업체 공정 라인에서 사용되는 캐리어 박스임
■ Automatic opening and closing
■ Ultrapure, low outgassing materials protect wafers
■ ESD처리된 12inch Process Carrier
■ 강력한 웨이퍼 고정으로 입자 생성 감소
■ 도어 분해 없이 청소 가능
■ 이송 과정에서 발생하는 충격 및 진동에 강하도록 설계됨
■ EPAK

상품특징 및 설명

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상세 규격 표
Cat.No.	Model	Description	Wafer
W01-261-420	L12-FOUP	Process Carrier (FOUP)	12 inch

상세 규격 표
Cat.No.		W01-261-420
Model		L12-FOUP
Carrier Type		Front Opening Unified Pod (FOUP)
Wafer Size		12 inch (300mm)
Wafer Capacity		25
Wafer Spacing		10mm (±0.5mm Positional tolerance wafer to wafer, non-cumulative)
Weight		4.6 kg (Empty) / about 7.8 kg (Full Loaded)
Size	Included Handler & Robotic Flange	w420×d342×h338 mm
Size	Excluded Handler & Robotic Flange	w388×d342×h332 mm

* All datum established relative to kinematic coupling per SEMI

* Fist Wafer Position - 44mm nomial relative to horizontal datum plane

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Cat. No	Model	Description	Unit	Price(VAT별도)	재고/납기	비고
W01-261-520	L12-FOUP	Process Carrier FOUP (Casette) 12 inch	1/EA	소비자가 : 2,664,200원	49 Day	관심

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